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摘要
基于显微拉曼特性以及表面缺陷对散射光的调制作用，提出一种光学元件表面缺陷的检测方法。通过共焦技术限制散射光信号采集范围，并利用拉曼散射光频率特性滤除其他散射光干扰，从而有效放大缺陷的调制影响，进而分析扫描后的光谱峰强成像图变化，间接实现对表面缺陷的表征。实验研究了两种共焦方式下的成像结果，验证了检测方法实现表面缺陷检测的有效性，为检测光学元件表面微小缺陷提供了新的思路。
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单位中国科学院; 中国科学院福建物质结构研究所; 中北大学
