A1_2O_3薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用

作者：安家才; 廖华; 梅凤娇; 王建秋; 李石周

来源：云南师范大学学报(自然科学版), 2013, (02): 20-24.

• 氧化铝薄膜
• 钝化
• 减反射
• 制备方法
• 太阳电池 Aluminum oxide films
• Passivation
• Anti-reflection
• Preparation method
• Solar cell

氧化铝薄膜因对晶体硅材料具有理想的钝化效果,在晶体硅太阳电池领域被认作是一种优良的减反射材料。概述了氧化铝薄膜的钝化特性,主要制备方法等研究现状。分析认为:磁控溅射法具有成膜均匀性好、质量高、沉积速率快、成本低、易控制等诸多优势,因此该方法在太阳电池的工业化领域具有广阔的应用前景。

• 单位
  云南师范大学