<正>1背景简介众所周知,最新的传感器都采用微机电系统(MEMS)技术。基于MEMS的元器件(传感器和致动器)在大约10年前开始进入穿戴产品市场,在计步器中,加速度计首次替代机械式弹簧。过去十年,MEMS技术取得显著进步,MEMS产品厂商克服了制造工艺挑战,新的MEMS产品大量涌现,尺寸越来越小,性能明显提升,同时售价大幅降低,这些进步为穿戴产品实现新应用铺平了道路。加速度计、陀螺仪、磁强计等惯性传感器和压
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