多晶硅生产中含氟废酸液处理工艺

作者：杜青青

来源：化工设计通讯, 2022, 48(09): 44-46.

• 含氟废酸液
• 中和沉淀
• 零排放
• 蒸发结晶
• 尾气处理

多晶硅生产中会排放少量的含氟废酸液，该股废液可以经中和沉淀预处理后，并入厂区尾气洗涤及渣浆废水进行后续处理，也可以单独实现废液零排放。主要对含氟废酸液的蒸发结晶零排放处理工艺路线、设备选型及尾气处理工艺流程进行阐述。