基于MEMS的悬板式风速传感器的研制

作者：韩有君; 赵湛; 王晓蕾; 杜利东; 方震

来源：纳米技术与精密工程, 2009, (05): 423-427.

• 风速传感器
• 悬板
• 微机械
• 电容

研制了一种基于体微机械加工技术的悬板式风速传感器.传感器由可动极板和固定极板构成,通过测量传感器的输出电容变化量来检测风速.基于流体力学原理对传感器进行了理论分析.将制作的传感器封装在印刷电路板(PCB)上,并置于小型风洞内进行测试.测试结果说明所研制的传感器能够实现0~15.5 m/s范围内的风速测量,风速越大,传感器的灵敏度越高.传感器的输出电容变化量和风速之间具有二次函数关系,与风速平方之间具有线性关系,线性度为8.1%.

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 中国科学院大学; 中国人民解放军陆军工程大学