微压印中抗蚀剂三维微流场可视化实验研究

作者：杜军; 魏正英; 何威; 耿麒

来源：浙江大学学报(工学版), 2013, (10): 1871-1876.

• 微纳米压印
• 抗蚀剂
• 填充行为
• 数字离焦三维微流场测速技术 micro/nanolithography
• resist
• filling behavior
• defocusing digital particle image velocimetry technique

为了研究微纳米压印中抗蚀剂的填充行为,采用三维数字离焦微流场测速技术对抗蚀剂内分散的荧光示踪粒子进行粒子离焦图像采集.针对粒子离焦图像的特殊性,提出基于两帧离焦图像的三维粒子跟踪测速(3DPTV)算法.实现了对粒子三维运动轨迹的追踪,构建示踪粒子三维速度场.基于计算流体动力学(CFD)方法建立微压印抗蚀剂填充行为数值计算模型,将可视化实验结果与数值计算结果进行对比,两者吻合较好,证明三维数字离焦微流场测速技术在构建抗蚀剂填充过程微流场中的有效性.

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室