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摘要
针对现有结构的电容式加速度传感器在结构上和制备工艺上的上述不足,本发明提供一种单片集成三轴加速度传感器及其制备方法。通过在Z轴向上淀积三层金属Al薄膜形成梳齿对敏感电极；在X轴向、Y轴向上淀积四层金属Al/SiO2薄膜形成梳齿对敏感电极,采用单个的集成结构同时检测三个轴向的加速度。本发明的有益技术效果有：本发明显著降低了三轴加速器器件间的互联寄生电容,实现了高的检测精度和较低的噪声性能；由于采用包含了多个金属层,相比较使用同质材料多晶硅制备的微加速度计,布线方案更加灵活；本结构采用了折叠梁的结构,使得传感器自身的应力获得了良好的释放效果,从而能有效地减小应力对系统的影响。
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