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摘要
新的应用要求集成电路芯片扩展其工作领域工作在高压、高温、高频和大功率等多重复合条件下，使得集成电路面临的可靠性问题日益严峻。而芯片集成度的增加、工艺尺寸的缩小导致集成电路芯片抗环境应力能力降低。而电应力作为最直接、对器件影响最大的一种应力，其对芯片可靠性的影响最为显著，本文选取一款大规模专用集成电路芯片故障作为典型案例，分析实际应用过程中复合电应力对芯片可靠性的具体影响，为类似复合应力的影响分析提供参考。
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单位中国电子科技集团公司第二十四研究所
