建立了热应力及外弯矩作用下多层薄膜系统的蠕变理论模型,利用弹性随动因子推导出薄膜应力的解析解。以薄膜基体双层模型为例,本文的理论结果与有限元模拟结果具有较好的一致性。此外,深入讨论了弹性随动因子与热膨胀系数比、弹性模量比、厚度比之间的关系。本文方法可较好计算蠕变条件下多层薄膜系统时间相关的应力及变形,提高了计算效率。
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