多晶硅定向凝固过程节能优化的数值模拟研究

作者:张明宇; 罗涛; 杨玺; 吕国强; 马文会
来源:云南科技管理, 2018, 31(1).
DOI:10.3969/j.issn.1004-1168.2018.01.016

摘要

在多晶硅定向凝固过程中,热场对晶体生长及节能降耗起到了至关重要的作用.借助模拟软件,对多晶硅定向凝固的热场进行数值模拟.通过对比发现,在热场中添加一个保温块能够有效降低凝固能耗,改善炉内温度条件,优化多晶硅凝固过程中的流动、界面等条件.

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