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摘要
采用电弧离子镀技术在高速钢表面制备CrN薄膜，研究直流偏压对CrN薄膜结构和性能的影响。利用冷场发射扫描电镜和X射线衍射仪对薄膜的表面形貌和微观结构进行分析，利用球坑仪、显微硬度计以及多功能材料表面性能试验仪等，对薄膜的厚度、硬度以及结合力进行研究。结果表明，在不同直流偏压下，薄膜均由CrN相组成。当直流偏压从-60V增加到-80V时，薄膜表面大颗粒数数量和尺寸明显减少，沉积速率、硬度和结合力增加；但当直流偏压幅值继续增加时，薄膜表面大颗粒的数量和尺寸随之增加，沉积速率、硬度和结合力随之降低。当直流偏压为-80V时，薄膜的表面形貌、沉积速率、硬度和结合力最佳。
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