酒精蒸汽激光检测系统滤光器件的研制

作者：付秀华; 王野^*; 刘冬梅; 张静; 张功; 卢成

来源：中国激光, 2019, 46(11): 24-30.

• 光学器件
• 光学薄膜
• 双通滤光膜
• 膜层敏感度
• 膜应力

为提高酒精检测系统的信噪比,根据比尔-朗伯定律确定双通窄带滤光片的技术参数;根据技术参数在Si基底上采用双面拆分法设计窄带滤光片,建立折射率渐变模型确定反演系数,实现膜层的准确控制。采用真空室原位退火法提高膜层聚集密度,降低膜层应力,进而提高膜层附着力,稳定膜层光谱性能;制备的膜层能够满足在(1392±10) nm和1530～1570 nm波段透射率大于90%,400～1350 nm和1600～1800 nm波段透射率小于1%,在1410～1515 nm波段透射率小于30%的要求。

• 单位
  长春理工大学; 成都国泰真空设备有限公司