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摘要
真空测量是真空科学与技术的重要组成部分,在航空航天、半导体、核工业、加速器、新材料等领域具有重要应用价值。经过几个世纪的发展,从宏观力学效应到量子效应,真空测量原理不断创新发展。从大气压到极高真空范围,不同真空测量仪器分别覆盖了不同量程段的测量要求。较完整地梳理了真空测量原理的发展历程,并依据近年来高端真空装备快速发展对真空全压力测量的新需求,厘清了真空测量仪器逐步向高精度、微型化和智能化发展的趋势,综述了近十余年来真空全压力测量技术与仪器的发展现状,展望了真空全压力测量新技术的未来发展前景。
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