本文提出了金刚石合成的二阶段升温升压工艺,讨论了各工艺参数(暂停时间、台阶功率、台阶压力)对粉末触媒高温高压合成优质金刚石单晶的影响,并对实验现象进行了分析,确立了高品级金刚石的合成工艺。实验结果表明:暂停时间长短影响成核的数量,暂停时间长金刚石产量低,暂停时间短金刚石产量高,但晶形较差;随着台阶功率的增加,金刚石的成核量和产量呈减少趋势;台阶压力的高低影响成核的多寡,台阶压力低,成核少,合成温度偏低,台阶压力高,成核多,金刚石晶形差。实践证实该工艺更有利于腔体的温度稳定。
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