我国化学气相沉积(CVD)金刚石膜研究三十年

作者：吕反修; 李成明

来源：人工晶体学报, 2022, 51(05): 753-758.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2022.05.005

• 金刚石膜
• 研究与应用
• CVD
• 金刚石自支撑膜
• 化学气相沉积
• 三十年

从1980年代化学气相沉积(CVD)金刚石膜问世，我国研究人员迅速跟进，在短时间内从国家层面进行布局，“863计划”从1987年启动到2016年落幕。在我国科学技术需要急起直追的年代，“863计划”的实施有力推动了我国CVD金刚石膜技术的进步，直至今天国家重点研发计划仍然在接力支持CVD金刚石在各个领域的应用研究。回顾CVD金刚石三十年的发展历程，对我国科技战略的设计、科技政策的制定、科研计划的落实、科技成果的实施等有重要的借鉴意义。

• 单位
  北京科技大学; 新金属材料国家重点实验室