静电力驱动MOEMS可调谐滤波器的数值分析

作者：沈伟东; 黄苏娴; 朱勇; 刘旭; 顾培夫

来源：光学仪器, 2004, (02): 37-41.

• 微光机电系统
• 可调谐滤波器
• 静电力结构耦合
• 自适应算法
• 平均效应 MOEMS
• tunable filter
• coupling of electrostatic force and structure
• self-consistent method
• average effect

分析了基于微光机电系统的可调谐滤波器在静电力驱动下的一些特性。介绍了一种自适应算法来解决静电力和结构的耦合问题,用这种算法并借助于有限元分析软件Ansys,计算了200μm×200μm矩形薄板在不同电压驱动下的变形,分析了三维变形对滤波器光学特性的影响。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室