沉积温度对CrB_2涂层结构与性能的影响

作者：张树参; 李晓伟; 王丽; 张栋; 柯培玲; 李志勇; 汪爱英

来源：中国表面工程, 2016, (02): 69-76.

• 沉积温度
• CrB2涂层
• 微结构
• 硬度
• 韧性 deposition temperature
• CrB2 coating
• microstructure
• hardness
• toughness

为了研究沉积温度对涂层微结构与力学性能的影响,采用直流磁控溅射技术制备了CrB_2涂层。通过XPS、XRD、SPM、SEM、HRTEM、纳米压痕仪和维氏压痕仪分别分析了涂层的成分、结构、微观形貌和力学性能。结果表明:在不同沉积温度下,CrB_2涂层均由CrB_2和少量Cr相组成。涂层具有致密的纳米柱状结构,其直径大约为7nm,且沿着生长方向贯穿整个涂层截面。随沉积温度升高,涂层晶体取向由(101)和(001)的混合取向逐渐转变为(001)择优取向,涂层由纤维状结构转变为柱状晶结构,且柱状晶尺寸随沉积温度的增加逐渐细化,致密化程度增加。涂层的力学性能随沉积温度的升高而显著增加;当沉积温度达到40...

• 单位
  中国科学院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 中北大学