基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究

作者：文武; 刘传浩

来源：压电与声光, 2019, 41(06): 802-805.

• 频率温度系数(TCF)
• 2)" name="keyword">机电耦合系数(k2)
• COMSOL
• Love波

使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k2),且讨论了ZnO薄膜厚度hZnO和AlN薄膜厚度hAlN对这些参数的影响。结果表明,当hZnO=1μm,hAlN=1.88μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9 208 m/s,k 2=3.84%,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中。

• 单位
  重庆邮电大学; 通信与信息工程学院