塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究

作者：李世涛; 乔学亮; ***

来源：材料导报, 2004, (11): 3-5.

DOI：10.3321/j.issn:1005-023X.2004.11.002

• ITO薄膜
• 塑料基体
• 低温

综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术。同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议。

• 单位
  华中科技大学