复合薄膜研究的进展

作者：龚朝阳; 罗学涛; 张颖; 程璇; 张莹

来源：真空, 2006, (05): 19-22.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2006.05.006

• 复合薄膜
• 薄膜制备
• 厚度测量
• 层间结合力 composite thin films
• film preparation
• thickness measurement
• interlayer adherence

复合薄膜材料由于具有传统复合材料和薄膜材料两者的优点,正成为复合材料的重要分支而越来越引起广泛的重视和深入的研究。它可以把各层薄膜材料的优异性能结合起来,从而克服各自的弱点,达到特定的应用目的。本文简要综述了近十年来复合薄膜领域的研究进展,介绍了多层复合薄膜的制备方法和常用表征手段并总结了目前复合薄膜材料领域中存在的主要问题。

• 单位
  厦门大学; 固体表面物理化学国家重点实验室