表面改性多孔二氧化硅减反膜的稳定性研究

作者：熊怀^*; 唐永兴; 胡丽丽; 沈斌; 李海元

来源：光学学报, 2019, 39(08): 397-402.

• 材料
• 薄膜
• 减反膜
• 溶胶-凝胶法
• 稳定性

以正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法制备SiO2溶胶,通过提拉法涂制多孔SiO2减反膜,并在多孔SiO2减反膜上涂制一层甲基三乙氧基硅烷(MTES)预聚体。通过疏水的MTES预聚体涂制在多孔SiO2减反膜上,对多孔SiO2减反膜的表面进行改性,以提高膜层的环境稳定性。经过表面改性的复合膜层的透过率峰值可达99.67%,折射率为1.231,水接触角达123.6°,在相对湿度为95%的环境中放置475 d后膜层的峰值透过率为99.09%,稳定性提高明显。膜层表面平整,激光损伤阈值约为24.5 J/cm2。

• 单位
  中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院大学