摘要

针对微电子领域高温共烧陶瓷(HTCC)产品的批量化生产,依托中国电子科技集团公司第二研究所独立自主的工艺装备,结合HTCC相关产品的工艺生产流程,进行生产线的整体布局设计和智能化建设,分别就产能现状仿真、布局规划、自动化建设、基于OPC和Secs/Gem等通信协议的数据采集与控制系统、数字化生产运营管理系统等方面,对生产线进行升级改造,建设HTCC生产线智能化的示范工厂,实现HTCC生产线的智能化提升,为微电子领域数字化车间的智能制造提供参考。

  • 单位
    中国电子科技集团公司第二研究所; 中北大学