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摘要
随着科学技术的快速发展，微电子器件在不同领域得到越来越广泛的应用.对于高集成化和高频化的微电子器件，传统的冷却技术已很难满足高效散热的需求，因此对器件的可靠性与安全性带来严重的影响.近年来，研究者提出了多种无源换热过程强化技术，但是这些技术在不同程度上增加了流动阻力从而极大地限制了其应用潜力.超声波技术具有成本低、使用简便、操控灵活、穿透性强和无污染等特点，超声波与散热技术相结合实现有源换热过程强化已逐渐引起研究者的关注和重视.本文对超声波激励换热过程强化的研究进展进行了系统综述，首先介绍超声波强化换热的机理，然后总结并分析超声波技术在单相气体对流、单相液体对流、池沸腾和流动沸腾换热过程中的理论和实验研究，最后讨论超声波换热技术面临的若干挑战并提出未来潜在的发展方向，为构建高性能和实用化超声波换热体系提供相应的参考.
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