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摘要
为实现压电微泵对气体有效驱动，提出一种以圆环形晶片型压电振子为驱动力源的压电气体隔膜泵。首先给出了气体隔膜泵结构设计和工作原理，建立了物理模型并对系统进行动力学分析。通过matlab仿真得出了系统配重块质量与弹簧板厚度对固有频率和输出气体流量的影响。制作了系统样机并进行了实验测试，结果表明，理论分析与实验结果相吻合，验证了理论分析的正确性。当配重块为870 kg,弹簧板为1.8 mm时，气体隔膜泵气体流量为3 300 mm/min,大大提高了压电微泵对气体的输送性能。
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单位长春大学
