电子级氙气的纯化设备概述

作者:袁涛; 齐利兵; 刘松青; 杨荣博
来源:化工管理, 2023, (12): 113-116.
DOI:10.19900/j.cnki.ISSN1008-4800.2023.12.030

摘要

空气中氙气含量只有0.086 mg/L,获得99.995%以上纯度的氙产品,具有较大的技术难度。文章介绍一种用吸气剂的纯化装置,正常运行时由西门子PLC(可编程控制器)系统全自动操作。纯化器具有完备的报警连锁系统,一旦出现问题,系统将会及时报警,以防备事故发生。操作人员可以在无需额外输入的情况下准确地管理所有操作变量,在有需要时,也可进行手动控制,利用高温条件,吸气剂将氙气中杂质脱除,纯化后的氙气可达到6 N水平,高纯氙气流入后端可供使用。

  • 单位
    大连华邦化学有限公司

全文