光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理

作者：吴宇; 刘晓旻; 杨国光

来源：光电工程, 2007, 34(07): 30-34+38.

DOI：10.3969/j.issn.1003-501X.2007.07.007

• 光杠杆
• 纳米位移测量
• PSD
• 信号处理 optical lever
• nano-displacement measurement
• PSD
• signal process

本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化。

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室