劳埃德式紫外激光干涉光刻实验

作者：钟晓岚; 宋佳奇; 李晓苗; 姚旭; 严琪琪; 金硕^*

来源：物理实验, 2023, 43(03): 22-28.

DOI：10.19655/j.cnki.1005-4642.2023.03.003

• 劳埃德镜
• 紫外激光干涉
• 激光光刻
• 微纳米技术

搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统，利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉，通过精确调整、控制光束的入射角，设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备，分析光栅周期与波长、入射角的关系；在拓展实验中，制备设计部分可以完成二维点阵或准晶结构制备，前沿拓展部分可以制备表面等离极化激元微腔.基于劳埃德式激光干涉光刻实验操作便捷、展示度高，同时涵盖光干涉原理的介绍和光路调整、样品制备和表征等实验内容，有助于学生掌握激光干涉光刻的实验技能.

• 单位
  物理学院; 北京航空航天大学