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摘要
介绍了一种基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片,该芯片主要由三部分组成:集成了高压电极的玻璃基底、PDMS薄膜以及刻有微流路的PDMS板。利用lift off工艺,在玻璃基底上制作了为电泳分离提供高压的Pt电极。为了提高PDMS微芯片的密封效率,同时也为了保持微流路材料的一致性,通过挤压法首先在玻璃基底上形成了一层PDMS薄膜。电泳分离实验表明:在该微芯片上能够实现DNA片段的有效分离。
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单位传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所
