针对某高速静压电主轴系统的内部发热将影响加工精度的问题,采用有限元分析法,使用ANSYS Workbench工作平台,对静压电主轴的温度场和热变形情况进行仿真设计,最后将温度场仿真结果与实验数据进行对比,验证仿真分析的正确性。研究结果表明,当主轴转速为5 000 r/min时,油冷和水冷系统温度控制为20℃时,主轴系统各个部位的温差较大,其中,前轴承发热量较大,主轴前端产生热变形,影响了高速加工的精度要求。