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摘要
科技发展使军用、船舶、切削等各领域的精密器件所面临的环境更加极端复杂，多元防护涂层因具有良好的综合性能而逐渐取代传统的二三元氮化物，但目前关于TiAlCr基多元涂层结构与性能的影响研究尚未报道。本文通过调控氮气流量(5 ≤ FN ≤ 40 mL/min)，基于磁过滤阴极真空弧（FCVA）技术制备了TiAlCr基的多元（TiAlCrSi）N涂层。采用FESEM、EDS、XRD、XPS和TEM对涂层的相结构、形貌和成分进行了表征，并通过纳米压痕仪、划痕仪和电化学工作站对涂层性能进行了表征。结果表明：随着氮气流量增加，涂层由无序致密的非晶相转变为具有柱状晶的（TiAlCr）N纳米晶/Si3N4非晶相的复合结构。FN ≤ 20 mL/min时，涂层结构以均匀致密的非晶相为主；FN = 20 mL/min时涂层的结合强度LC3 （27.1 N）较高，在3.5 wt.% NaCl溶液中拥有较好的耐腐蚀性能(Ecoor = -0.314 V， Icoor = 2.9038 μA·cm-2)；FN ≥ 30 mL/min时，涂层结构转变为具有柱状晶的（TiAlCr）N纳米晶/Si3N4非晶相复合结构，涂层的硬度得到显著提升，达到超硬级别；FN = 40 mL/min时涂层拥有良好的力学性能，硬度、弹性模量、H/E和H3/E2分别为45.11 GPa、460.4 GPa、0.098和0.433 GPa。通过FCVA制备的（TiAlCrSiN）涂层具有优异的耐腐蚀和力学性能，为表面防护技术在复杂苛刻环境中的发展提供了重要的参考价值。
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