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摘要
空间频域算法作为白光干涉测量的重要算法之一,被广泛应用于微纳结构表面形貌测量领域。然而,传统空间频域算法中存在着由被测样品倾斜及表面形貌起伏变化引起的相位误差累积效应,并且该相位误差与干涉信号中零光程差位置的偏移程度密切相关。为此,对相位误差累积效应的原理进行分析,并在传统空间频域算法的基础上提出了一种基于包络信号辅助分析的方法以抑制相位误差累积。该方法首先通过包络信号分析对原始干涉信号中的零光程差位置的偏移进行对称性校正,再通过空间频域算法对校正后的对称信号进行相位分析,从而尽可能抑制零光程差位置偏移对空间频域分析的影响。为了验证本文方法的有效性,分别从仿真和实验的角度对该方法进行讨论。
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单位重庆邮电大学; 自动化学院
