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摘要
为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理，以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象，分析了线性及静电力非线性工况下梳齿倾斜角度对微陀螺动力学特性的影响。研究结果表明，微陀螺在线性系统内工作时，梳齿倾斜角会导致微陀螺系统出现共振频率偏移，并造成灵敏度大幅下降，但对带宽基本没有影响。当在静电力非线性系统内工作时，梳齿倾斜角对系统响应有刚度硬化作用，可在一定程度上抵消静电力非线性的影响；硬化作用先随梳齿倾斜角的增加而增加，到达峰值后随刻蚀误差的增加而减小，即存在最佳梳齿倾斜角度以抵消静电力非线性的影响。上述研究成果为控制或利用刻蚀误差的影响提供了理论依据。
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