集成电路制造厂化学机械研磨废水回用技术

作者：王雯佳; 章婷婷^*

来源：上海船舶运输科学研究所学报, 2019, 42(03): 85-90.

• 化学机械研磨废水
• 混凝
• 板式膜
• 反渗透
• 回收水
• 超纯水

采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝(Poly Aluminium Chloride,PAC)作为混凝剂,在添加浓度为0.5‰、反应pH值为8.0时,可有效降低化学机械研磨废水中溶解硅的初始浓度;配合板式膜过滤和反渗透工艺,最终产水的导电度小于50μs/cm,浊度小于1.0 NTU,溶解硅浓度小于0.001‰。产水的水质优于自来水,可回用至超纯水系统作为超纯水制备的原水。

• 单位
  同济大学苏州研究院; 同济大学