DL-10A型石英真空计

作者：王逊; 张云峰; 唐镇松

来源：真空, 2014, 51(04): 35-37.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2014.04.017

• 石英真空计
• 石英晶振
• 谐振阻抗

DL-10A型石英真空计,测量范围为5×10-1～105 Pa。石英真空计的特点是传感器的体积小,这样该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外,它能测量小体积,例如1 cm3大小的密封器件的气体压强,并能检测真空的保持状态。

• 单位
  北京大学