AlN陶瓷的飞秒激光螺旋制孔研究

作者：王海龙; 李铁; 王宏建

来源：机械工程与自动化, 2021, (06): 120-123.

• AlN陶瓷
• 飞秒激光
• 螺旋制孔

采用飞秒激光螺旋制孔方式加工AlN陶瓷跑道孔,分析了进给量对跑道孔加工形貌、尺寸及效率的影响。在确保加工质量的前提下,以提高制孔效率为目标优化工艺参数,制孔时间可缩短约80%,跑道孔锥度仅增大约2°;对跑道孔壁进行了元素含量测试,结果表明AlN陶瓷在加工区域发生了氧化反应。

• 单位
  松山湖材料实验室