基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化

何敏; 李伟; 李雨励; 孙言; 蒋亚东

摘要

基于非晶硅薄膜的非制冷微测辐射热计具有结构简单、易于大规模集成、工艺兼容以及良好探测性能等特点,在红外探测领域等受到关注。引入氮化钛薄膜作为新型红外吸收材料,通过光学导纳矩阵法,对基于非晶硅薄膜的微测辐射热计的红外吸收特性,进行了仿真和优化研究。结果表明,非晶硅微测辐射热计中,氮化钛/非晶硅复合薄膜具有良好的红外吸收性能。当非晶硅薄膜厚度为120 nm时,由氮化钛/非晶硅组成的膜系在8～14μm范围内具有96%左右的红外吸收率,其中氮化钛薄膜的最佳吸收厚度为32nm。

单位
光电信息学院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室

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更新时间：2020-06-17 16:01

基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化

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