尺寸效应将影响多段微梁的固有振动特性。针对微机电系统中一种三段式微梁，基于哈密顿原理建立了多段微梁的无阻尼自由振动方程，并求出微梁的固有频率和模态，将不同角度下的理论结果与有限元仿真进行对比验证。采用修正偶应力理论推导考虑材料尺度参数的多段微梁变形能表达式，并进行多段微梁固有频率和模态的尺寸效应分析。结果表明：随着材料尺度参数与特征尺寸比值的增大，多段微梁的固有频率逐渐增加。微梁各段间的角度越大，尺寸效应对1阶固有频率的影响越显著，而尺寸效应对微梁的模态几乎没有影响。
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