宏模型广泛地应用于集成电路寄生参数提取过程之中，它不仅能够有效减少计算复杂度，还能在保证计算精度的前提下加密敏感电路或器件结构。当前的集成电路特征尺寸已处于纳米量级，工艺波动所引入的导体尺寸变异对电路性能的影响不可忽略，为了解决这个问题，提出了一种宏模型的敏感度模型，即宏敏感度模型。基于有限元法框架，通过计算静电场总体刚度矩阵对工艺参数的导数完成对宏敏感度模型的构建，算例验证表明，宏敏感度模型能够分析集成电路的敏感度，从而提高利用宏模型提取参数的可靠性及电路设计的稳定性。
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