二氧化钒复合薄膜太赫兹透射率模拟

作者：王旭^*; 陈思宏; 高敏; 林媛

来源：电子元件与材料, 2020, 39(05): 55-59.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.05.008

• 二氧化钒
• 金属光栅
• 太赫兹调制
• 透射率
• 仿真

二氧化钒(VO2)是一种具有可逆热致相变性质的材料,在太赫兹调制领域具有应用潜力。为了确认VO2复合薄膜对太赫兹调控的可行性,在进行相关实验之前,首先运用CST Studio Suite电磁仿真软件进行模拟研究,主要探究了VO2及其与金属光栅结合的复合薄膜的相关参数对太赫兹透射及调控的影响。仿真结果表明,VO2能很好地调控太赫兹的透射幅度,调控深度可由相变幅度控制。另外仿真发现,对VO2复合薄膜而言,通过控制光栅的参数变化可以改变太赫兹透射幅度,并且可以通过调控光栅周期实现对太赫兹调制深度控制。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室