“真空紫外与X射线光学”专题前言

作者：王占山; 王峰; 江怀东; 黄秋实

来源：光学学报, 2022, 42(11): 9-2.

• 射线光学
• 真空紫外
• 光学元件

<正>真空紫外到X射线是电磁波谱中波长比较短的部分，包含真空紫外、远紫外、极紫外、软X射线和硬X射线。这一波段的光波长短、能量大，按照锐利判据，由其构成的光学系统可以实现更精细的聚焦和成像。工作波长为13.5nm的极紫外光刻已成为生产10nm以下线宽集成电路的主流生产手段，推动了半导体行业的持续进步。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 同济大学; 上海科技大学; 中国光学工程学会