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摘要
为获取最优单晶硅生长参数，利用FEMAG软件完成300CM单晶硅热场特征的模拟。应用FEMAG软件的Furgeo、Crygeo模块获取炉体、晶体的几何结构。利用IniMesh得到热场的总体几何结构，通过GemMesh模块划分热场总体几何结构网格，并通过设定具体参数获取最优非结构网格，根据已经确定的材料基础数量、晶体原理位置和熔体自由表面位置建立热场模型，仿真分析300CM单晶硅热场特征。实验结果表明：300CM单晶硅熔体在水平磁场下的流动具有三维非对称性；拉速几乎不影响单晶硅熔体热场分布；加强型热屏影响下热场的各种固液界面形状变化最小、最平坦，熔体在纵向温度梯度上的变化量最少；坩埚转速加快不影响固液界面的温度梯度。
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单位青海民族大学; 电子信息工程学院
