一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制

作者：付世; 丁桂甫; 王艳

来源：上海交通大学学报, 2006, 40(11): 1947-1950+1954.

DOI：10.3321/j.issn:1006-2467.2006.11.028

• 微机电系统
• 电磁微继电器
• 双稳态

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点.

• 单位
  上海交通大学; 薄膜与微细技术教育部重点实验室