对电子级二氟甲烷的用途及发展进行了简述，介绍了现有的纯化技术。针对现有技术的不足，自主研发二氟甲烷纯化技术，采用三级吸附与二级精馏相结合的方式获得5N以上的电子级产品，并实现了批量供应，产品满足半导体行业的使用要求。
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