Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜性能的影响

作者：李明亮; 刘利; 沈燕

来源：真空, 2020, 57(01): 31-34.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.06

• 透明导电薄膜
• AZO/Ag/AZO
• 室温沉积

在室温条件下,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜。主要研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响。研究表明,AZO和Ag分别延(002)面和(111)面高度择优生长,随着Ag层厚度的增加,多层透明导电薄膜的电阻率不断降低,透过率呈现先降低再增加最后再降低的变化趋势,其中Ag层厚度为8nm的样品获得最大品质因子33.1×10-3Ω-1,综合性能最佳。

• 单位
  重庆市计量质量检测研究院; 昆明理工大学