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摘要
本发明属于微波工程、半导体器件测试技术领域,公开了一种大功率半导体器件宽阻抗范围测试方法,所述大功率半导体器件宽阻抗范围测试方法利用具有阻抗转换作用的输入/输出端口阻抗转换测试夹具将矢量网络分析仪的输入/输出阻抗50Ω变换为接近被测件的输入/输出阻抗,以扩展阻抗测试范围。本发明利用输入/输出端口阻抗转换测试夹具预先将仪器50Ω系统阻抗转换为接近被测件的输入/输出阻抗,从而实现一定程度的阻抗预匹配,减小功率器件测量过程中的失配问题,减小测量端口失配导致的测量误差,在扩展测试系统的阻抗测试范围的同时,提高了测量的精度。
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