微纳米测量环境控制机理及系统研究

作者：张辉

来源：其他, 2009.

• 半导体制冷
• 温度控制
• 分离式环境控制箱
• CFD
• 系统辨识
• PID
• 模糊控制
• 模糊自整定PID
• 振动隔离 Semiconductor refrigeration
• temperature control
• separate environmental control box
• CFD
• system identification
• PID
• fuzzy control
• fuzzy self-adapting
• vibration isolation

在微纳米测量和控制领域里,都需要高精度的恒温、恒湿、洁净抗振的环境空间,对环境的精密控制是实现高精度测量的基础,世界上许多研究机构非常重视对微纳米测量环境的研究。目前,一般将微纳米测量等高精密仪器设备放置在恒温恒湿洁净室里,人员的活动也在其中,而真正需要高精密环境的只是测量仪器本身,因此研究小型的高精密的恒温、恒室、洁净抗振的微纳米测控设备工作环境具有重要的科学意义和工程应用价值。 本文主要研究微纳米测量环境控制机理和保障系统的设计与实现,并建立一个高精密恒温恒湿抗振洁净的环境空间,以保证微纳米测量设备的正常工作。本研究的预期目标为:温度控制20℃±0.05℃,相对湿度5...