直拉硅单晶中位错的光致发光

作者：李东升; 杨德仁; S.Pizzini

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2004, (09): 1104-1108.

• 位错
• 氧沉淀
• 光致发光 dislocation
• oxygen precipitati on
• photoluminescence

利用低温光致发光谱研究了直拉硅单晶中位错的光致发光 .实验发现普通直拉硅单晶在晶体生长过程中引入的位错密度高于 10 7cm- 2 时 ,位错的发光光谱出现了典型的位错 D1～ D4发光峰 ;而位错密度较低时 ,光谱中没有出现 D1发光峰 .而对于掺氮直拉硅单晶中的位错 ,其发光光谱在 0 .75～ 0 .85 e V范围内均出现了与低位错密度普通直拉硅单晶相同的较宽的谱峰 .而且当含氮直拉硅单晶中位错密度高于 10 7cm- 2 时 ,在 0 .75～ 0 .85 e V范围内则出现了明显的与原生氧沉淀相关的发光峰 .可以认为硅单晶生长过程中引入的位错的发光特性是与位错生成过程中加速了氧沉淀...

• 单位
  硅材料国家重点实验室