高分辨率紫外/可见宽波段显微物镜设计

作者：刘仲禹; 张欣婷; 吴倩倩

来源：应用光学, 2013, (04): 575-578.

• 光学设计
• 高分辨率
• 宽波段
• 消色差 optical design
• high resolution
• wide band
• achromatic

设计一种用于目标探测的高分辨率紫外/可见宽波段显微物镜。该系统数值孔径NA=0.4、放大率β=10×、像高2y′=4.7mm,在248nm～656nm的宽波段范围内成像,采用熔石英和萤石两种光学材料对宽波段所引起的色差进行校正。通过对系统的结构优化设计及像差平衡,使传递函数曲线的截止频率高达3 600lp/mm,且接近衍射极限;分辨率σ<0.65μm;点列图均方根半径均小于0.650mm;场曲小于0.01mm;畸变小于0.5μm,可完成近紫外、可见光双波段的探测任务。

• 单位
  长春理工大学