p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用

作者：王珊珊; 王家畴; 李昕欣

来源：传感技术学报, 2020, 33(02): 161-166.

• 热电堆式气体流量传感器
• 1-D数学模型
• 单面硅微机械加工
• +Si/Au热电堆" name="keyword">p+Si/Au热电堆

为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参数进行仿真分析,结合工艺参数得到了一个最优化的器件尺寸。根据这一尺寸制造了一个p+Si/Au热电堆式气体流量传感器以进一步验证一维模型。测试得到的传感器归一化灵敏度为481 [mV/(m/s)]/W。此参数比之前的工作高出数倍。此外,测试所得的输出电压曲线与一维模型仿真的曲线一致性也较好,进一步证明了这一一维模型的正确性。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 中国科学院大学