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摘要
本发明涉及一种用于连接标准真空电馈通的微型离子泵,属于离子泵技术领域。该用于连接标准真空电馈通的微型离子泵包括阴极、阳极和磁环,所述阴极包括阴极柱和阴极锥,所述阳极包括阳极筒和设于阳极筒侧壁上的若干个进气孔,所述阴极锥的尾部与阳极筒的侧壁之间形成环空。本发明通过磁环使电子围绕阴极轴心旋转,阴极与阳极之间形成电场,且由于阴极位于环空的一侧呈工字型,电子可在电磁场作用下,绕阴极轴心螺旋运动并上下起伏,以至于电子能够在极小空间内几乎无限地运动,离子泵能够持续稳定地抽取空气离子,且离子泵的体积足够小,可应用于微型真空系统中。
- 单位
